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超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著. -- オーム社, 1997. -- (応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース). <BB99427027>
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超微細加工技術

応用物理学会編 ; 徳山巍編著. -- オーム社, 1997. -- (応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース). <BB99427027>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.8||T 29700300 帯出可 0件
0002 摂本館 摂寝B1保存書庫2 549.8||T 29701489 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.8||T
資料ID 29700300
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝B1保存書庫2
請求記号 549.8||T
資料ID 29701489
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著
チョウビサイ カコウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : オーム社 , 1997.2
形態事項 xiv, 309p ; 22cm
巻号情報
ISBN 427402332X
シリーズ名 応用物理学シリーズ / 応用物理学会編||オウヨウ ブツリガク シリーズ <BB99427029> 専門コース||センモン コース//a
注記 参考文献: 各章末
注記 索引: p[305]-309
注記 執筆: 徳山巍ほか
学情ID BN15970232
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 応用物理学会||オウヨウ ブツリ ガッカイ <AU10024615>
著者標目リンク 徳山, 巍(1929-)||トクヤマ, タカシ <AU10077854>
件名標目等 ガラス||ガラス
件名標目等 ガラス製品||ガラスセイヒン
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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