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常翔学園 摂南大学図書館

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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第3版. -- 日刊工業新聞社, 1994. <BB99381157>
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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第3版. -- 日刊工業新聞社, 1994. <BB99381157>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝3F参考図書 R549.8||H 29500361 禁帯出 0件
0002 工枚方 工枚保存書庫 R549.8||H 89605745 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝3F参考図書
請求記号 R549.8||H
資料ID 29500361
禁帯出区分 禁帯出
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 工枚方
配置場所 工枚保存書庫
請求記号 R549.8||H
資料ID 89605745
禁帯出区分 禁帯出
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版事項 第3版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1994.11
形態事項 xv, 486p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526036137
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Terminological dictionary of semiconductor equipment
学情ID BN11770322
本文言語コード 日本語 英語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会||ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <AU10083482>
件名標目等 半導体 -- 辞典||ハンドウタイ -- ジテン
件名標目等 半導体 -- 便覧||ハンドウタイ -- ベンラン
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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