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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). <BB99529674>
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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). <BB99529674>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚22 549.8||A 19402033 帯出可 0件
0002 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.8||A 29413594 帯出可 0件
0003 工枚方 工枚普通図書 549.8||A 89602020 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚22
請求記号 549.8||A
資料ID 19402033
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.8||A
資料ID 29413594
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 工枚方
配置場所 工枚普通図書
請求記号 549.8||A
資料ID 89602020
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1994.5
形態事項 xii, 361p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036056
シリーズ名 アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB00017467> カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 5//aa
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN10742751
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 阿部, 孝夫||アベ, タカオ <AU50058417>
件名標目等 結晶成長||ケッショウセイチョウ
件名標目等 電子部品||デンシブヒン
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