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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術

麻蒔立男著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB99689457>
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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術

麻蒔立男著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB99689457>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚22 549.8||A 19900442 帯出可 0件
0002 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.8||A 29413837 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚22
請求記号 549.8||A
資料ID 19900442
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.8||A
資料ID 29413837
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 超微細加工の基礎 : 半導体製造技術 / 麻蒔立男著
チョウビサイ カコウ ノ キソ : ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.3
形態事項 2, viii, 261, ivp ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032840
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN08854220
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男(1934-)||アサマキ, タツオ <AU10033852>
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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