常翔学園 摂南大学図書館

ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08). <BB99565516>
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所蔵一覧 1件~3件(全3件)

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚18 549.7||U 19103282 帯出可 0件
0002 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.7||F 29106918 帯出可 0件
0003 工枚方 工枚普通図書 549.7||F 89603665 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚18
請求記号 549.7||U
資料ID 19103282
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.7||F
資料ID 29106918
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 工枚方
配置場所 工枚普通図書
請求記号 549.7||F
資料ID 89603665
禁帯出区分
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル/著者 ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1991.3
形態事項 xi, 262p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621035835
シリーズ名 Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 <BB00074618> . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編||ザイリョウ コウガクヘン ; M08//a
注記 各章末: 文献
学情ID BN06180206
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)||フルカワ, セイジロウ <AU10028232>
著者標目リンク 石原, 健||イシハラ, タケシ <AU50066532>
著者標目リンク 堂山, 昌男(1927-)||ドウヤマ, マサオ <AU10025021>
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ