常翔学園 摂南大学図書館

半導体評価技術

河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆. -- 産業図書, 1989. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB99025042>
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所蔵一覧 1件~3件(全3件)

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 研究室 549.8||K 10702692 帯出可 研究室 0件
0002 工大宮 工大6F一般図書 棚22 549.8||H 18904897 帯出可 0件
0003 工大宮 工大保存書庫 549.8||H 18900171 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 研究室
請求記号 549.8||K
資料ID 10702692
禁帯出区分 帯出可
状態 研究室
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚22
請求記号 549.8||H
資料ID 18904897
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大保存書庫
請求記号 549.8||H
資料ID 18900171
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル/著者 半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1989.2
形態事項 viii, 330p ; 22cm
巻号情報
ISBN 478285627X
シリーズ名 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB99365571>//a
学情ID BN03233656
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 河東田, 隆(1944-)||カトウダ, タカシ <AU00012484>
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)||スガノ, タクオ <AU10033652>
著者標目リンク 奥村, 次徳||オクムラ, ツグノリ <AU10104458>
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ