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VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

徳山巍, 橋本哲一編著. -- 日経BP社, 1989. <BB99733373>
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VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて

徳山巍, 橋本哲一編著. -- 日経BP社, 1989. <BB99733373>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝保存書庫 549.7||T 28917160 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 549.7||T
資料ID 28917160
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて / 徳山巍, 橋本哲一編著
VLSI セイゾウ ギジュツ : サブミクロン ジダイ ニ ムカウ サイセンタン MOS ギジュツ ノ スベテ
出版・頒布事項 東京 : 日経BP社 , 1989.1
形態事項 vi, 325p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4822270556
その他の標題 奥付タイトル:VLSI製造技術
VLSI セイゾウ ギジュツ
注記 各章末: 参考文献
注記 索引: p323-326
学情ID BN03227289
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 徳山, 巍(1929-)||トクヤマ, タカシ <AU10077854> 編著
著者標目リンク 橋本, 哲一(1940-)||ハシモト, ノリカズ <AU50100010> 編著
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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