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ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

赤堀正幸著. -- ダイヤモンド社, 1988. <BB99729475>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 528.2||A 29006319 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 528.2||A
資料ID 29006319
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦 / 赤堀正幸著
ウルトラ クリーンカ ギジュツ : ミツビシ デンキ トウホク ダイガク ノ チョウセン
出版・頒布事項 東京 : ダイヤモンド社 , 1988.4
形態事項 vi, 230p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4478240434
学情ID BN02559589
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 赤堀, 正幸(1940-)||アカホリ, マサユキ <AU50098993>
件名標目等 空気 -- 浄化||クウキ -- ジョウカ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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