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VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986. -- (電子材料シリーズ). <BB99641926>
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伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986. -- (電子材料シリーズ). <BB99641926>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚21 549.8||V 18703826 帯出可 0件
0002 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.7||V 29601320 帯出可 0件
0003 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.7||V 29805712 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚21
請求記号 549.8||V
資料ID 18703826
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.7||V
資料ID 29601320
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.7||V
資料ID 29805712
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.9
形態事項 xii, 250p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621031120
シリーズ名 電子材料シリーズ||デンシ ザイリョウ シリーズ <BB00118493>//a
注記 各章末:文献
学情ID BN00435789
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 隆司||イトウ, タカシ <AU50075904>
著者標目リンク 石川, 元||イシカワ, ハジメ <AU50075905>
著者標目リンク 中村, 宏昭||ナカムラ, ヒロアキ <AU50075906>
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク
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