常翔学園 摂南大学図書館

スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <BB00124517>
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所蔵一覧 1件~3件(全3件)

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 研究室 549.94||K 28405653 帯出可 研究室 0件
0002 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.8||K 28405094 帯出可 0件
0003 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.8||K 29002162 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 研究室
請求記号 549.94||K
資料ID 28405653
禁帯出区分 帯出可
状態 研究室
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.8||K
資料ID 28405094
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.8||K
資料ID 29002162
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル/著者 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3
形態事項 ix, 231p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4130610473
注記 各章末: 参考文献
注記 一般的参考書: p226
学情ID BN00164488
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 金原, 粲(1933-)||キンバラ, アキラ <AU10044675>
件名標目等 薄膜||ハクマク