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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00068014>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00068014>
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所蔵一覧 1件～4件（全4件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚18 549.7||O 10304108 帯出可 0件
0002 工大宮 工大6F一般図書 棚18 549.7||O 10804564 帯出可 0件
0003 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.7||H 20303889 帯出可 0件
0004 摂本館 摂寝保存書庫 549.7||H 20304402 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚18
請求記号 549.7||O
資料ID 10304108
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚18
請求記号 549.7||O
資料ID 10804564
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.7||H
資料ID 20303889
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0004
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 549.7||H
資料ID 20304402
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項 305p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312245
シリーズ名 ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB00000964> 29//a
学情ID BA62674459
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU10064008>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU10064009>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU10064010>
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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