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はじめての半導体リソグラフィ技術
岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00068014>
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岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00068014>
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摂南大学
-摂本館
大阪工業大学
-工大宮
10件
20件
50件
100件
No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
禁帯出区分
状態
返却予定日
予約
0001
工大宮
工大6F一般図書 棚18
549.7||O
10304108
帯出可
0件
0002
工大宮
工大6F一般図書 棚18
549.7||O
10804564
帯出可
0件
0003
摂本館
摂寝2F普通図書フロア
549.7||H
20303889
帯出可
0件
0004
摂本館
摂寝保存書庫
549.7||H
20304402
帯出可
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
工大宮
配置場所
工大6F一般図書 棚18
請求記号
549.7||O
資料ID
10304108
禁帯出区分
帯出可
状態
返却予定日
予約
0件
No.
0002
巻号
所蔵館
工大宮
配置場所
工大6F一般図書 棚18
請求記号
549.7||O
資料ID
10804564
禁帯出区分
帯出可
状態
返却予定日
予約
0件
No.
0003
巻号
所蔵館
摂本館
配置場所
摂寝2F普通図書フロア
請求記号
549.7||H
資料ID
20303889
禁帯出区分
帯出可
状態
返却予定日
予約
0件
No.
0004
巻号
所蔵館
摂本館
配置場所
摂寝保存書庫
請求記号
549.7||H
資料ID
20304402
禁帯出区分
帯出可
状態
返却予定日
予約
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書誌詳細
タイトル/著者
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項
東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項
305p ; 21cm
巻号情報
ISBN
4769312245
シリーズ名
ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB00000964> 29//a
学情ID
BA62674459
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU10064008>
著者標目リンク
鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU10064009>
著者標目リンク
上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU10064010>
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
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