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新しい半導体製造プロセスと材料

シーエムシー, 2000. <BB99680984>
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新しい半導体製造プロセスと材料

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.8||A 20013212 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.8||A
資料ID 20013212
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 新しい半導体製造プロセスと材料
アタラシイ ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー , 2000.5
形態事項 v, 274p ; 27cm
巻号情報
ISBN 488231276X
その他の標題 標題紙タイトル:New process and materials of semiconductore equipment
注記 監修: 大見忠弘
注記 文献: 各章末
学情ID BA49424027
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大見, 忠弘(1939-)||オオミ, タダヒロ <AU10077402>
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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