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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB99369486>
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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB99369486>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 工大宮 工大6F一般図書 棚1 501.208||O||8 19800154 帯出可 0件
0002 工大宮 工大6F一般図書 棚1 501.208||O||8 19806922 帯出可 0件
0003 摂本館 摂寝2F普通図書フロア 549.7||Y 29814328 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚1
請求記号 501.208||O||8
資料ID 19800154
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 工大宮
配置場所 工大6F一般図書 棚1
請求記号 501.208||O||8
資料ID 19806922
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝2F普通図書フロア
請求記号 549.7||Y
資料ID 29814328
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項 x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4785325089
シリーズ名 応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <BB99363015> 8//a
その他の標題 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記 欧文標題は標題紙裏による
注記 付: 参考文献, 参考書
学情ID BA35144601
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉田, 善一(1957-)||ヨシダ, ヨシカズ <AU50002843>
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 機械工作||キカイコウサク
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