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常翔学園 摂南大学図書館

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Materials modification by energetic atoms and ions : symposium held April 28-30, 1992, San Francisco, California, U.S.A.

editors, Kenneth S. Grabowski ... [et al.]. -- Materials Research Society, 1992. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 268). <BB99681824>
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Materials modification by energetic atoms and ions : symposium held April 28-30, 1992, San Francisco, California, U.S.A.

editors, Kenneth S. Grabowski ... [et al.]. -- Materials Research Society, 1992. -- (Materials Research Society symposium proceedings ; v. 268). <BB99681824>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝保存書庫 501.408||M||268 29407661 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 501.408||M||268
資料ID 29407661
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 Materials modification by energetic atoms and ions : symposium held April 28-30, 1992, San Francisco, California, U.S.A. / editors, Kenneth S. Grabowski ... [et al.]
出版・頒布事項 Pittsburgh, PA : Materials Research Society , c1992
形態事項 xiii, 405 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 1558991638
シリーズ名 Materials Research Society symposium proceedings <BB99371293> v. 268//a
注記 Includes bibliographical references and indexes
学情ID BA18856129
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Materials Research Society. Spring Meeting <AU50073185> (1992 : San Francisco, Calif.)
著者標目リンク Grabowski, Kenneth S. <AU50086344>
件名標目等 Semiconductors -- Etching -- Congresses
件名標目等 Plasma etching -- Congresses
件名標目等 Ion bombardment -- Congresses
件名標目等 Thin films -- Congresses
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