常翔学園 摂南大学図書館

Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis

edited by Jerome J. Cuomo and Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman. -- Noyes Publications, 1989. -- (Materials science and process technology series). <BB99730694>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝保存書庫 549.9||H 28910220 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 549.9||H
資料ID 28910220
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル/著者 Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis / edited by Jerome J. Cuomo and Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman
出版・頒布事項 Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications , c1989
形態事項 xviii, 438 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 081551199X
シリーズ名 Materials science and process technology series <BB99691239>//a
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA07446307
本文言語コード 英語
著者標目リンク Cuomo, J. J. <AU50099244>
著者標目リンク Rossnagel, Stephen M. <AU50099245>
著者標目リンク Kaufman, Harold R. <AU50099246>
件名標目等 Ion implantation
件名標目等 Ion bombardment -- Industrial applications