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Ion beam assisted film growth

edited by Tadatsugu Itoh. -- Elsevier, 1989. -- (Beam modification of materials ; 3). <BB99706182>
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Ion beam assisted film growth

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝保存書庫 427.5||B||3 28900788 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 427.5||B||3
資料ID 28900788
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 Ion beam assisted film growth / edited by Tadatsugu Itoh
出版・頒布事項 Amsterdam ; Oxford ; Tokyo : Elsevier , 1989
形態事項 xvii, 439 p : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0444872809
シリーズ名 Beam modification of materials <BB99706181> 3//a
注記 Includes index
学情ID BA06776816
本文言語コード 英語
著者標目リンク 伊藤, 糾次(1922-)||イトウ, タダツグ <AU10096681>
件名標目等 Thin films, Multilayered
件名標目等 Ion bombardment
件名標目等 Sputtering (Physics)
件名標目等 Semiconductor films
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