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常翔学園 摂南大学図書館

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Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987

editor, G.W. Rubloff. -- American Institute of Physics, 1988. -- (AIP conference proceedings ; no. 167 . American Vacuum Society series ; 4). <BB99325524>
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Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987

editor, G.W. Rubloff. -- American Institute of Physics, 1988. -- (AIP conference proceedings ; no. 167 . American Vacuum Society series ; 4). <BB99325524>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝保存書庫 420.6||A||167 28815207 帯出可 0件
0002 工枚方 工枚保存書庫 549.8||D 89617620 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 420.6||A||167
資料ID 28815207
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 工枚方
配置場所 工枚保存書庫
請求記号 549.8||D
資料ID 89617620
禁帯出区分
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987 / editor, G.W. Rubloff
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , 1988
形態事項 388 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0883183676
シリーズ名 AIP conference proceedings <BB99325510> no. 167 . American Vacuum Society series ; 4//ab
注記 DOE CONF-8711124
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA06598037
本文言語コード 英語
著者標目リンク Rubloff, G. W. (Gary W.) <AU50013316>
件名標目等 Microelectronics -- Congresses
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