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Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee. -- Academic Press, 1983. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 6). <BB99720892>
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Materials and process characterization

edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee. -- Academic Press, 1983. -- (VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; 6). <BB99720892>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 摂本館 摂寝保存書庫 549.08||V||6 08313037 帯出可 0件
0002 摂本館 摂寝保存書庫 549.8||V||6 28712707 帯出可 0件
0003 摂本館 摂寝B1保存書庫2 R028.93||E 28711707 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 549.08||V||6
資料ID 08313037
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝保存書庫
請求記号 549.8||V||6
資料ID 28712707
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 摂本館
配置場所 摂寝B1保存書庫2
請求記号 R028.93||E
資料ID 28711707
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

タイトル／著者 Materials and process characterization / edited by Norman G. Einspruch, Graydon B. Larrabee
出版・頒布事項 New York ; Orlando ; Tokyo : Academic Press , 1983
形態事項 xii, 598 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0122341066
シリーズ名 VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch <BB00123931> 6//b
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA01084713
本文言語コード 英語
著者標目リンク Einspruch, Norman G. <AU10026904>
著者標目リンク Larrabee, Graydon B., 1932- <AU50096988>
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration
件名標目等 Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
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